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國產等離子刻蝕機是干法刻蝕中常見的一種設備

更新時間:2024-03-15      點擊次數:984
  國產等離子刻蝕機是干法刻蝕中常見的一種設備,其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講,等離子清洗實質上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進行干式蝕刻工藝的設備包括反應室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應室。氣體被導入并與等離子體進行交換。等離子體在工件表面發(fā)生反應,反應的揮發(fā)性副產物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實際上便是一種反應性等離子工藝。
 

國產等離子刻蝕機

 

  國產等離子刻蝕機的操作步驟:
 
  1.確保各個部件已經安裝完畢,并且連接好電源和氣源。
 
  2.打開開關,啟動電源。
 
  3.設定工作參數,包括刻蝕深度、刻蝕時間、氣體流量等。
 
  4.將待刻蝕的樣品放入樣品臺上,并將樣品臺固定好。
 
  5.關閉電源開關,打開真空泵開關,開始抽真空。
 
  6.抽真空到設定的壓力后,打開刻蝕氣體開關。
 
  7.根據設定的刻蝕參數,進行刻蝕。
 
  8.刻蝕結束后,關閉刻蝕氣體開關,打開氣閥,釋放氣體。
 
  9.關閉真空泵開關,等待真空釋放完畢。
 
  10.將刻蝕好的樣品取出,進行后續(xù)處理。
 
  國產等離子刻蝕機的維護保養(yǎng)方法:
 
  1.定期清潔內部和外部,包括樣品臺、刻蝕室等部件。
 
  2.檢查并清潔真空泵和氣體傳輸管道,保持其正常工作。
 
  3.每次使用后,及時清理刻蝕液,避免其堆積引起問題。
 
  4.定期檢查各個零部件,如電機、夾持裝置等,確保其正常運轉。
 
  5.定期更換耗材,如刻蝕室和真空泵的密封圈,防止漏氣和損壞。
 
  6.長時間不使用時,關閉電源和氣源,進行防塵封存,以保護設備。
 
  7.如果發(fā)現出現故障或異常,應及時聯系售后服務進行維修。
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