臺式真空等離子清洗機(jī)采用等離子體技術(shù)，利用氧、氮等氣體在高頻電場下離子化生成的等離子體，在低壓條件下對物體表面進(jìn)行清洗和改性處理。
 

　　臺式真空等離子清洗機(jī)的工作原理主要包括以下幾個步驟：
 

　　創(chuàng)建真空環(huán)境：利用真空泵將腔體內(nèi)抽至一定的真空度，通常在0.3MPa到1MPa之間，為等離子體的產(chǎn)生創(chuàng)造條件。
 

　　產(chǎn)生等離子體：在達(dá)到一定真空度后，向腔體中通入非聚合性無機(jī)氣體，如氬氣(Ar)、氮?dú)?N2)、氫氣(H2)或氧氣(O2)等。這些氣體在高頻電場的作用下被激發(fā)，分子間的距離增大，分子或離子的平均自由運(yùn)動長度增加，從而形成等離子體。
 

　　等離子體轟擊：產(chǎn)生的等離子體含有高能量的離子，它們在電場中進(jìn)行無序運(yùn)動并轟擊被清洗物體的表面。這種轟擊具有物理和化學(xué)雙重作用，可以打斷化學(xué)鍵，去除物體表面的污染物。
 

　　排出揮發(fā)性物質(zhì)：清洗過程中產(chǎn)生的揮發(fā)性物質(zhì)通過工作氣流被真空泵抽出，從而達(dá)到清潔的目的。
 

　　臺式真空等離子清洗機(jī)的技術(shù)特點(diǎn)：
 

　　高效去污能力：利用等離子體技術(shù)，可以在微觀級別上去除工件表面的污染物。等離子體由高能粒子構(gòu)成，能夠深入到傳統(tǒng)清洗方法難以觸及的微小縫隙中，分解并清除油脂、氧化物、有機(jī)污染物等，從而實現(xiàn)高效的清洗效果。
 

　　無損清洗過程：與化學(xué)清洗或機(jī)械打磨不同，等離子清洗不會對被清洗物品造成物理損傷。這是因為等離子體作用溫和且可控，能夠在不改變材料表面特性的前提下完成清洗任務(wù)，保護(hù)了敏感或精細(xì)的物品表面。
 

　　綠色環(huán)保：等離子清洗過程中不使用任何化學(xué)試劑，避免了有害化學(xué)物質(zhì)的產(chǎn)生和排放，符合當(dāng)前環(huán)保趨勢。此外，它還減少了水資源的消耗，與傳統(tǒng)水基清洗相比，更加節(jié)能環(huán)保。
 

　　臺式真空等離子清洗機(jī)在多個領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用：
 

　　科研領(lǐng)域：在科研實驗中，樣品表面的清潔度對于實驗結(jié)果具有重要影響，以其高效的清洗能力和無損的清洗過程，成為科研領(lǐng)域的重要工具。
 

　　半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造過程中，去除硅片表面的污染物對于提高芯片質(zhì)量和性能至關(guān)重要，能夠去除硅片表面的微小顆粒和有機(jī)物殘留，提高芯片的質(zhì)量和可靠性。
 

　　生物醫(yī)學(xué)：在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，醫(yī)療器械和生物材料的表面清潔度對于其性能和安全性具有重要影響，能夠提供一種無污染的清洗方式，滿足生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的需求。