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  • PLUTO-80等離子清洗機/表面處理系統(tǒng)

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PLUTO-80等離子清洗機/表面處理系統(tǒng)

簡要描述:PLUTO-80等離子清洗機,表面處理系統(tǒng)是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto80的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto80具有多種電極設置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍,提供給用戶良好的靈活性。

  • 產(chǎn)品型號:PLUTO-80
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-06-11
  • 訪  問  量:3278

詳細介紹

品牌PLUTOVAC產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領域生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,電氣,綜合

PLUTO-80等離子清洗機/表面處理系統(tǒng)產(chǎn)品特點:

1.氣體輸送系統(tǒng),提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

2.不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置

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3.射頻系統(tǒng)提供很好的工藝重復性和處理效率

4.全自動處理能力,圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動流程并提供實時流程信息


圖片1.png

1

系統(tǒng)信息界面

2

系統(tǒng)登錄按鈕

3

工藝程序確認與運行按鈕

4

系統(tǒng)運行狀態(tài)界面

5

系統(tǒng)運行參數(shù)界面

6

系統(tǒng)菜單界面

系統(tǒng)可自由設定(包括在設備運行過程中)等離子RF功率,處理時間,真空

度,氣體流量,氣體穩(wěn)定時間,氣體通入時間,吹掃,破真空等工藝參數(shù)。

操作人員可設置系統(tǒng)登錄賬戶和密碼,密碼可由經(jīng)過設置權限的操作人員設定和更改,并登錄和退出系統(tǒng)賬號(共有3個級別)

 

 

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PLUTO-80等離子清洗機/表面處理系統(tǒng)應用領域:

PLUTO-80是面向大半導體市場工業(yè)級客戶與研發(fā)型客戶使用需求設計的等離子處理設備,適用于等離子清洗、活化以及刻蝕等多種應用。設備可在嚴苛環(huán)境下穩(wěn)定運行,獲得高度均一化的處理效果。

光刻膠去除————去除表面殘膠,形成清潔、活化的表面。

密封前處理————經(jīng)由等離子活化樣品表面,提升塑封料的結合力,減少分層、空洞等不良的產(chǎn)生。

金屬鍵合前處理——通過等離子處理去除焊盤表面的金屬氧化層,提升后續(xù)鍵合工藝的良率和結合力。

底部填充前處理——等離子活化提升膠體在表面的流動性,消除空洞與起泡,增強填充效果。

表面粗化與微蝕——消除表面盈利,使材料更易結合。


 

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