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  • PLUTO-E100型科研型等離子體干法刻蝕(ICP/CCP)系統(tǒng)是一款低成本,適合于科研機(jī)構(gòu)實(shí)驗(yàn)室的桌面型科研設(shè)備,整套系統(tǒng)的目的是在4寸以及以下的樣品上進(jìn)行干法刻蝕。該系統(tǒng)包括反應(yīng)腔室,真空系統(tǒng),RF射頻系統(tǒng),反應(yīng)氣路系統(tǒng),電器控制,軟件程序等幾個(gè)子系統(tǒng)。

    訪問次數(shù):653
    產(chǎn)品價(jià)格:499999
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    更新日期:2025-06-11
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