PLUTO-30是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶良好的靈活性。