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等離子清洗機/表面處理機/去膠機

簡要描述:PLUTO-30型等離子清洗機,等離子處理機,等離子去膠機是專為研發(fā)而設(shè)計的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍,提供給用戶的靈活性。

  • 產(chǎn)品型號:PLUTO-30型
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-03-06
  • 訪  問  量:2741

詳細介紹

品牌PLUTOVAC
  PLUTO-30 等離子體材料表面處理系統(tǒng)
 
  中小型 量產(chǎn)級 多功能
 
  PLUTO-30型等離子清洗機,等離子處理機,等離子去膠機是專為研發(fā)而設(shè)計的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍,提供給用戶的靈活性。
 
P30參數(shù).jpg

  

       PLUTO-30型等離子清洗機/表面處理機/去膠機特征及優(yōu)勢
 
  氣體輸送系統(tǒng),提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
 
  不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置
 
  射頻系統(tǒng)提供的工藝重復(fù)性和處理效率
 
  全自動處理能力
 
  圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動流程并提供實時流程信息
 
  臺式設(shè)計需要較小的占地面積
 
  典型應(yīng)用
 
  表面活化
 
  提高表面能量以提高材料粘合性:預(yù)壓模粘合;預(yù)焊線粘合
 
  增強表面膠體流動性:預(yù)成型;預(yù)倒裝芯片下溢
 
  表面粗糙度和蝕刻
 
  降低表面應(yīng)力,改善表面粘結(jié)性
 
  灰化和表面清潔
 
  Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)
 
  電介質(zhì)/III-IV材料
 
  納米涂層(配備液體前體輸送裝置)
 
  耐水納米涂層:印刷電路板表面處理
 
  防腐納米涂層:醫(yī)療器械,醫(yī)療植入物


 

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